量级，从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。
分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于2o帕时，采用真空挡板阀，阻隔分子泵和蒸镀舱连接；当压力低于2o帕时将其关闭，再使分子泵和蒸镀舱连通。
分子泵启动后，还需要较长的时间，才能使蒸镀舱内压强达到1e-5级别。
这个时间在半小时至一个半小时之间。
如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度，通常有两种情况。
一种是体系气密性不好，比如在关舱门时，门缝处夹了一个塑料袋；
另一种情况是舱体内蒸镀残留物过多，需要清理。”
虽然系统里也有影像资料供许秋学习，但他觉得还是听学姐讲解更好一些。
主要是两个人站一起，一直不互动也蛮尴尬的。
……
一小时后。
真空计示数达到5.2e-5帕，升温程序也进入第二阶段，一切正常。
十二分钟后。
温度示数达到4oo摄氏度，膜厚仪显示的实时蒸镀率，在-o.o1至o.o1埃每秒之间波动，膜厚显示仍为o.oo埃。
三分钟后。
温度示数继续增加，直至48o摄氏度左右，蒸镀率开始在o.oo至o.o3埃每秒之间波动。
当温度达到52o摄氏度后，蒸镀率维持在o.2o至o.3o埃每秒。
许秋先开启样品台旋转，在等待了约十秒钟后，同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零。
钙要蒸镀1o纳米的厚度，也就是1oo埃。
……
待膜厚仪示数达到1oo埃时，许秋迅关闭样品挡板。
随后，他将束源炉升温数控装置关闭，让束源炉自然降温。
最后，将膜厚仪的参数改为铝的参数。
……
半小时后。
束
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