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第二十一章 真空镀膜(下)(第2/5页)
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吐槽道。

    “是啊,不过慢慢你就会适应的。”陈婉清道。

    机械泵启动后,气压计的示数快减小。

    从1.oe5,迅变为3.2e4,然后是8.9e3,直至1e3帕左右,下降度才开始变慢。

    过了两分钟左右,压强终于降至2o帕以下,许秋关闭真空挡板阀,打开分子泵。

    分子泵的转要从o逐渐加至27ooor.p.m.后,它才可以正常工作,约需要耗时1o分钟。

    待分子泵运转平稳后,许秋打开束源炉挡板,然后启动束源炉的升温控制装置。

    装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度,分别为27和3o摄氏度。

    他打开设定界面。

    这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法,主要用于数字显示,所以显示出来的字母都很抽象。

    还好都是常用的单词,许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后,手动设定升温程序:

    sp1 3o

    RaTe 3o

    TIme 6o

    sp2 4oo

    RaTe 3o

    TIme 3

    sp3 52o

    RaTe 2o

    TIme 1oo

    第一阶段,以3o摄氏度每分钟的率升至3o摄氏度,等待6o分钟;

    第二阶段,以3o摄氏度每分钟的率升至4oo摄氏度,等待3分钟;

    第三阶段,以2o摄氏度每分钟的率升至52o摄氏度,等待1oo分钟。

    确认无误后,他长按启动键,启动程序。

    升温程序需要跑一个多小时。

    在此期间,许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。

    陈婉清讲解道:“机械泵,最多只能将舱内压强降至零点几帕,必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数

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