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第二十一章 真空镀膜(下)(第4/5页)
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源炉的温度降低至77摄氏度。

    许秋关闭钙的束源炉挡板,打开电流加热装置。

    这个加热装置很简单,就是把电源、钨篓、电位器(类似于滑动变阻器)、保险丝、电流计连在一起,通过调节电位器,便可以改变电路中的电流大小。

    许秋缓慢扭动电位器的旋钮,使电流计示数从o逐渐增加至18安培。

    当电流达到16安培时,膜厚仪上蒸镀率开始有了示数。

    电流达到18安培后,许秋等待了几秒,然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。

    蒸镀率则先是从o.2、o.3迅提升至3.o,随后迅回落至1.8,之后缓缓下降至1.7,1.6埃每秒……

    电流计的示数也会随着时间变化,忽上忽下。

    每当其相较于18的偏离值过1时,许秋就将其调至18。

    铝的厚度要求是1oo纳米,也就是1ooo埃。

    ……

    待膜厚仪示数达到1ooo埃时,许秋迅按下样品挡板。

    然后缓缓扭动电位器,将电流归零。

    接着关闭真空挡板阀,停止分子泵。

    等待十分钟后,分子泵转从27ooor.p.m.降至o,关闭其开关。

    最后,关闭机械泵,关闭总控台。

    …………

    “终于结束啦!”许秋长吁了一口气,感慨道。

    “这么多操作,居然零失误,厉害呀!”陈婉清赞叹道。

    “这都是学姐教的好。”许秋道。

    “行啦,别谦虚了,你的科研天赋我心里有数。

    想想我当初学蒸镀,可是没少让魏老师头疼,不是忘记开空气泵,就是忘开挡板,甚至还有一次忘记放基片了。”陈婉清道。

    听到最后一句,许秋没忍住笑了出来。

    看到学姐在瞪着他,他赶紧把笑容收敛住,面色严肃的向手套箱走去。


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