我有科研辅助系统

厚偏薄。

    很容易理解，假如实际蒸镀率是o.2埃每秒，显示蒸镀率是o.4埃每秒，预期蒸镀膜厚是2o埃，蒸镀5o秒后，按照仪器显示的话，就已经达到了2o埃的厚度，但实际上的厚度却只有1o埃。

    反之亦然。

    因此，当下的情况就是在搬运的过程中，可能生了震动，使得晶振片的位置偏向了标准位置的上方。

    出现了问题，就要调整。

    现在主要有两种调整方法。

    第一种是直接把晶振装置安装到原来的标准位置。

    这种方法听起来很简单，但实际上操作起来很麻烦，需要消耗大量的时间去调整、摸索。

    先需要调整一次，蒸镀一次，然后用sem或其他手段表征测试一次实际厚度，看是否和预测膜厚相符合。

    如果符合，就说明调整好了，但一入魂的概率很低。

    大概率是很难一次弄好，这时候就需要反复进行“调整、蒸镀、测试”过程，直到理论和实际相符合。

    第二种，是以现在的晶振装置位置，去重新标定各项蒸镀参数，比如Z因数等等。

    这种方法挺起来也挺简单的，但因为仪器是集成好的，内部的具体原理，以及计算膜厚的公式只有厂家那边知道，对于用户来说，想要自己去标定参数，难度还是有些大的。

    所以大概率只有把厂家喊过来，才能进行维修，而这种高价的仪器，如果喊来厂家来维修，费用基本都是大几千甚至上万的。

    两种方法，许秋权衡了一番，最终选择了第一种，毕竟，他有系统可以帮忙摸索嘛。

    现在，许秋已经把复制到模拟实验室中的这台调试好了，到时候返校过后他打算去一趟江弯，提前把现实中的那台也调好。

    另外，其实还有第三种调整方法，虽然不是很提倡，但也不失为一种方法。

    那就是忽略实际上的膜厚，只用仪器显示出来的数据作为参照。

 

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