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重塑千禧年代

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第1426节(第5/8页)
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由大基金、冰芯、南大光电、晶瑞电材等公司联合成立的技术研究公司,主要目标就是取得arf光刻胶的突破。

    只是,但凡需要突破的东西都有难度,arf光刻胶在evu方案还没落地商用的情况下就是最高端的精密化学材料,国内这方面的厂商目前都没什么苗头。

    芯材是2012年成立,彼时也费了不少功夫,这个环节的公司们本身存在竞争关系,联合研发存在着利益分配的问题。

    张汝京这一趟来之前问了问相关情况,从负责晶圆制造联盟工作的秘书长那边得知,当时是冰芯态度有一点点强硬的推动了这个合作。

    冰芯在内地半导体行业里有着相当大的主导权,这既是它本身的技术水平,也是晶圆制造联盟在金融危机后做了不少整合的帮忙。

    不管南大光电还是晶瑞电材,它们在内地都绕不开冰芯。

    再加上,方总2011年7月份进行了事实上的部分的“同气连枝”整合,冰芯加上中芯更是内地半导体公司绕不开的存在了。

    基于这种情况才有了“芯材”的诞生。

    从2012年到2015年的现在,芯材专注于arf光刻胶的研究,进度上嘛,还算可以,多次进行了小规模试验,调整的配方比例也在光化学反应性能上有明显的提升。

    只是,这种提升还达不到理想的状态,等到走出实验室,扩大到中试规模,工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。

    这便没法大脚步的再往下走,况且,后面也有不少关隘,要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试,要做晶圆厂兼容性验证,必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接,还得做大量重复性与可靠性测试。

    如此这些,最后还要建立稳定的生产工艺,保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。

    “芯材走在了正确的路上。”

    这是来自晶圆制造联盟的评价。

    可惜,眼下的局面略显急迫。

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