科技最狂潮

我们还激进。”

      众人感慨，高原还真是个顽固的家伙，眼睛里容不下一丁点沙子，其实外资在中芯占比本来就不高，组建合资公司再进行一下稀释，应该掀不起多大风浪。

      但高原依然不认可这样的方案，哪怕外资只占百分之一，他也是顽固不肯答应。

      “还有呢？”大佬再问。

      “高原说，如果中芯的事情一时半会儿搞不定，先批准他与长春光机合作也可以，毕竟他们的透镜系统，只是光刻机的零部件之一，还要与相关企业合作，才能整合出完整的光刻机。”吴东明道。

      这个要求非常合理。

      大佬们纷纷点头，世人常常以为，上海微电子是国家队负责搞光刻机项目的，其实不对，的极紫外光刻机，一直由长春光机所负责攻坚，代号o2专项。

      所谓光刻机o2专项，总体架构是这样的。

      清华大学和帝都华卓精科，他们两家负责双工件台系统，目前项目进度比较快，已经基本解决了所有问题，因此，华夏成为是世界上第二个掌握该项技术的存在。

      而第一个拿下双工件台的是荷兰asmL，他们的Twinsan技术，已经投产数年时间了，被证明性能可靠。

      浙江大学流体动力与机电系统实验室，与浙江启尔机电，这两家负责沉浸式光刻机的浸液系统，目前已经基本完成，是继荷兰asm1和日本尼康之后，全球第三家掌握该项技术的存在。

      准分子激光光源，是中科院光电研究院负责的，传闻目前只能做到4ow功率，而荷兰asm1采用的光源，功率在2o19年就达到了25ow，这方面差距还是比较大

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